Bốc hơi hồ quang là một phương thức lắng đọng hơi vật lý

Quy trình này là đặt kim loại rắn cần bốc hơi (bia) vào buồng chân không, sau khi tạo ra phóng điện phát sáng, chạy trên bề mặt bia, bia bốc hơi trong phạm vi rất nhỏ vài micromet, chuyển động của hồ quang được điều khiển bởi từ trường, các ion kim loại bốc hơi tạo thành plasma sẽ lắng đọng trên bề mặt chi tiết gia công, những chi tiết này chuyển động quay trong buồng chân không, lớp phủ được chế tạo bằng hồ quang thường được sử dụng cho lớp phủ bề mặt của dụng cụ và linh kiện, trong quy trình hồ quang đạt được sự ion hóa cao của vật liệu bốc hơi, lớp phủ lắng đọng có độ bám dính tuyệt vời.

Ưu điểm của công nghệ hồ quang:

Tốc độ lắng đọng cao (~1-3 µm/h)
Tỷ lệ ion hóa cao, tạo thành lớp phủ có độ bám dính tốt, đặc chắc
Làm mát bia, chi tiết phủ ít bị nung nóng, có thể lắng đọng ở nhiệt độ dưới 100°C
Có thể bốc hơi kim loại nhiều thành phần, thành phần bia rắn còn lại không đổi
Catốt có thể đặt ở bất kỳ vị trí nào (ngang, dọc, trên và dưới), thiết kế thiết bị linh hoạt